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用熱處理來增強氧化鋅中的氮摻雜

點擊次數:2622 更新時間:2015-01-10 04:04:13?? ??來源:http://www.di-ce.com/ 【關閉
       氧化鋅廠通過熱處理來增強氧化鋅中的氮摻雜的研究工作已經展開。使用光致電子順磁共振技術(EPR),并在空氣或者氮氣氛下在600-900溫度范圍內退火,在使用該方法制備的氮摻雜氧化鋅晶體中,觀察到了氮受主的形成。這一結果的原因是N在熱退火過程中替代為淺的施主雜質。
      固源化學氣相淀積法(SS-CVD)也可以用來氧化鋅的N摻雜。二水醋酸鋅(Zn(CH3COO)2·2H2O, solid)和(CH3COONH4, solid)分別作為固體源和N源。實驗結果的樣品顯示出P型導電性,空穴濃度為9.8×1017 cm?3,電阻率20Ωcm,空穴遷移率0.97cm2 /V s。
      盡管上面報道說已經成功的獲得了N摻雜的氧化鋅薄膜,但也有相當多的報道,作者沒有能夠重復這些結果,即使采用相同的生長方式,相同的生長條件和相同的N源。因此,即使認為該報告的結果表明是真正的p型氧化鋅,重現這些結果仍是一個大問題,而且這個問題必須得在氧化鋅應用于光電子學,如同質結LED和激光二極管(LDs)之前解決。最后,這個問題至少等到高效率注入的ZnO的p - n結才能解決。
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